南京小草半导体有限公司
小草半导体作为一家高端半导体晶圆制造设备的高科技企业，专注于大尺寸晶圆压电薄膜磁控溅射设备的开发，目前已完成了磁控溅射设备开发，突破了8/12寸晶圆压电薄膜磁控溅射设备制造所需的多项关键技术，并申请了多项相关专利技术。
•小草提供 6/8/12 英寸的氮化铝（AlN）,掺钪氮化铝（AlScN）生产解决方案， 在生产效率 方面有最佳的表现
•所有小草的工艺数据都经过晶圆厂器件级验证
AlN/AlScN在压电MEMS中的应用
√AlN和AlScN是体声波（ BAW）滤波器以及压电MEMS（PiezoMEMS）中最为核心的材料。
√公司拥有超过20年的压电MEMS器件量产经验 。
√新型的PiezoMEMS器件包括
•PMUT 传感器
•MEMS压电麦克风
•压电MEMS超声换能器
•MEMS扬声器
•能量收集器（Energy Harvesters）
•硅振荡器（Si Oscillators）
√公司拥有超过20年的FBAR和SMR体声波滤波器量产经验。
√下面是压电器件能否成功量产的关键指标：
•电极和压电薄膜厚度的均一性
•压电薄膜的晶向
•电极和压电薄膜精确的应力控制
晶圆制造和封测产线深度支持
√小草已与国内数个晶圆线达成深度战略合作
√这些晶圆线已为小草PVD设备开发提供了大量工艺验证支持
√这些晶圆线也为小草PVD设备提供了器件级验证和量产支持
