领先的半导体设备供应商
产品系列
小草半导体自主开发的半导体设备
公司介绍
小草半导体作为一家高端半导体晶圆制造设备的高科技企业，专注于大尺寸晶圆压电薄膜磁控溅射设备的开发，目前已完成了磁控溅射设备开发，突破了8/12寸晶圆压电薄膜磁控溅射设备制造所需的多项关键技术，并申请了多项相关专利技术。
•小草提供 6/8/12 英寸的氮化铝（AlN）,掺钪氮化铝（AlScN）生产解决方案， 在生产效率方面有最佳的表现
•所有小草的工艺数据都经过晶圆厂器件级验证
AlN/AlScN在压电MEMS中的应用
AlN和AlScN是体声波（ BAW）滤波器以及压电MEMS（PiezoMEMS）中最为核心的材料。
公司拥有超过20年的压电MEMS器件量产经验 。
新型的PiezoMEMS器件包括:
•PMUT 传感器
•MEMS压电麦克风
•压电MEMS超声换能器
•MEMS扬声器
•能量收集器（Energy Harvesters）
•硅振荡器（Si Oscillators）
聚焦大尺寸晶圆压电薄膜磁控溅射设备
经验多
公司拥有超过20年的压电MEMS器件量产经验
深度合作
小草已与国内数个晶圆线达成深度战略合作
验证与支持
晶圆线已为小草PVD设备开发提供了大量工艺验证支持&为小草PVD设备提供了器件级验证和量产支持
人才招聘
面向海内外一流高校广纳人才，真诚期待您的加入！
邮箱：hr@grassmicro.com
联系我们
地址：南京市麒麟科技创新园天骄路100号江苏南京侨梦苑A栋14楼201室
手机：18905161891